圖紙介紹 ： 涂膠/顯影群組系統是通用的高產(chǎn)出晶圓處理系統，配置涂膠機、顯影機、蒸汽底漆、HPO、冷卻板等。涂膠/顯影群組系統可用于處理大量的光阻和光敏聚合物。其精密的系統軟件以及可靠的硬件配置使用戶(hù)可在各種烘烤溫度下對加熱板進(jìn)行編程并同時(shí)對晶圓進(jìn)行涂底、涂膠和顯影。該系統擴展性強，可滿(mǎn)足業(yè)務(wù)拓展或業(yè)務(wù)流程需要。
行業(yè)用途 ： 機械設備
設計軟件 ： SolidWorks
版本/編輯 ： 2017 【可編輯、含參數】
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