圖紙介紹 ： 一種新型HVPE襯底托架裝置模型，包括真空反應室,過(guò)渡腔,過(guò)渡腔進(jìn)水嘴,過(guò)渡腔出水嘴,上進(jìn)氣法蘭,上進(jìn)氣接頭,下密封法蘭,下密封法蘭進(jìn)水嘴,下,抽氣法蘭,齒輪一,齒輪二,旋轉軸承,壓板,齒輪套,支撐連接管,襯底托架一,襯底托架二,內套管,外套管,手動(dòng)鎖緊裝置,與現有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有如下的有益效果:結構設計合理,采用上進(jìn)氣下抽氣的方式,反應室內氣體能夠均勻通過(guò)襯底片,襯底托架一既可以放一片襯底片,也可以安裝襯底托架二,可以同時(shí)放3片襯底片.文件格式為step。
行業(yè)用途 ： 機械設備
設計軟件 ： SolidWorks
版本/編輯 ： 2016 【可編輯、不含參數】
文件格式 ： step(stp)
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