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一種半導體設備真空機械手
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圖紙介紹 ： 一種應用于半導體設備的真空機械手，兼容高真空度，日本JEL品牌機械手，聯(lián)動(dòng)型設計，0~330°擺動(dòng)角度，應用在晶圓搬運場(chǎng)合，單臂長(cháng)260mm，機械手可伸出長(cháng)度（不算手指）520mm，另附二維尺寸圖紙，供方案參考使用。

行業(yè)用途 ： 機械設備

設計軟件 ： SolidWorks

版本/編輯 ： SolidWorks2018 【可編輯、不含參數】

文件格式 ： Sldprt Sldasm

下載權限 ： 黃金會(huì )員.等級及以上

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