圖紙介紹 ：
用途
從下方頂出晶圓后進(jìn)行交接
動(dòng)作、操作性
動(dòng)作
①通過(guò)氣動(dòng)線(xiàn)性滑臺上升后，將吸附塊壓緊薄板進(jìn)行吸附
②通過(guò)自動(dòng)X(jué)軸滑臺上升銷(xiāo)部，頂出晶圓后進(jìn)行交接
在氣動(dòng)線(xiàn)性滑臺安裝機構部設置自動(dòng)X(jué)軸滑臺，從而可對銷(xiāo)的上升速度進(jìn)行微調
設置傾斜調整組件和XY軸交叉滾子，可對組件姿勢和位置進(jìn)行微調
設計軟件 ： SolidWorks
版本/編輯 ： 2016 【可編輯、不含參數】
文件格式 ： step(stp) Sldprt Sldasm
下載權限 ： 普通會(huì )員.等級及以上
會(huì )員等級 ：我的等級？ | 會(huì )員權限說(shuō)明？
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